專業石墨製品（pǐn）工廠帶您（nín）解（jiě）讀超純（chún）度石墨製品應用於電子半導體行業（yè）的工藝技術

    超純度石墨製品依據均（jun1）勻細顆（kē）粒的特性可作為低原子序數資料，對（duì）離子、等離子具有較強的抗（kàng）轟擊（jī）能力，很強的抗腐蝕性，超純度石墨製品沒有金屬離子不會對半導體發生（shēng）汙染，金屬部件暴露（lù）在離子注入設備中會形成高的損耗，故這時使用相應的石墨件來（lái）作屏蔽罩。用於等離子cvd用部件 等離子vcd用感受器、電極（jí）室、噴嘴、內襯、濺射用（yòng）電極（jí）、movcd感受器等。

    在半導體（tǐ）工業中，超（chāo）純度石（shí）墨製品（pǐn）主要是作為加熱體係、保溫罩、電極等存在，選用高純石墨做（zuò）這些部件也是充分利用了超純度石墨製品耐高溫這一特點。高純石墨的耐腐蝕、抗氧化、導電導熱的長處使用到了半導體工業中，使工件（jiàn）使用壽命更長、更加減磨省電。我司（sī）選用德國半導體（tǐ）等級石墨資料，精密製作離（lí）子注入用石墨（mò）耗材，提供標準件及客製化規格。